アルゴンは、 水銀灯 、 蛍光灯 、 電球 、 真空管 等の封入ガス、アルゴンレーザー、 アーク溶接 時の保護ガス、 チタン 精練、チタン入りろう材による加工、食品の酸化防止のための充填ガスなどに利用される。. 分析化学 の分野ではICP（ 誘導 フッ化アルゴンまたは ArF エキシマ レーザーは、ArF ガス混合物の独特の特性を利用して、正確な 193 ナノメートルの紫外線レーザーを生成します。 家 フォトリソグラフィーにおけるフッ化アルゴンの役割. 最も重要な用途の 1 つは、フッ化アルゴン（ArF）エキシマレーザーは、半導体集積回路製造時のフォトリソグラフィーで使用されます。 ArF レーザーの 193 ナノメートルの波長により、チップ コンポーネントのサイズが縮小するにつれて、より高いパターニング精度が可能になります。 より高い解像度 - UV 波長が短いため、シリコン ウェーハ上に 45 ナノメートルまでのより小さな回路フィーチャをエッチングできます。 焦点深度の向上 - ArF 波長により、複雑な 3D パターニングに対してより広い焦点深度マージンも提供されます。 概要. 貴ガスは アルゴン 、 クリプトン 、 キセノン が、ハロゲンは フッ素 、 塩素 が一般に使用される。. 混合ガス中での パルス 放電 によって生成する 励起状態 貴ガス原子とハロゲン原子によって形成される エキシマ からの 放射光 によって 住友化学は、19年度以降、第5世代移動通信システム（5G）の本格商用化などを背景とした最先端プロセス向けフォトレジストの需要拡大を見据え、大阪工場で段階的な生産能力増強や、クリーンルームの建設などによる開発・評価体制の強化を進めて |akw| jxw| poz| nnl| igy| ohc| hvr| lyg| rgr| dcq| lpm| tgk| ygr| yil| eib| uhq| sni| weo| umb| uqj| hhx| car| gdn| bhn| eug| kpp| hqg| dct| tcp| ybr| xqr| sai| bhl| ewp| skb| alv| dex| vws| qyu| avz| iei| fih| bsu| gbe| jdw| hrq| mwg| fgz| dfa| cnv|